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用光刻技术制作天线阵面

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用光刻技术制作天线阵面

内容简介：分析了缝隙天线阵面的光刻技术,叙述了采用光刻方法研制缝隙天线阵面的技术途径、工艺试验结果和主要问题.试验表明,毫米波主动导引头缝隙天线阵面具有面积大、缝隙多、精度高的特点.

作者：何景瓷,

关键词：天线阵面, 制造工艺, 光刻技术,

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