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基于EFAB工艺的可植入RFID天线设计

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基于EFAB工艺的可植入RFID天线设计

内容简介：可植入RFID目前已被广泛应用于动物识别和生物医学应用等领域,为了保证RFID在植入体内后避免引起动物或人体的不适,小尺寸和高灵敏度是可植入RFID设计的基本要求.首先说明可植入RFID天线设计的基本参数要求,然后介绍一种标准的MEMS工艺--EFAB工艺,并利用该工艺标准的设计规则进行可植入RFID天线的结构设计,最后通过仿真验证该线圈天线符合可植入RFID的工作要求.

作者：郭东辉, 陈华君,

关键词：MEMS工艺, EFAB工艺, 可植入RFID, 微型线圈天线,

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