矩形射频ICP离子束源天线设计

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矩形射频ICP离子束源天线设计

内容简介：为了更好地提高引出离子束的均匀性,对离子束刻蚀用矩形射频电感耦合等离子体(ICP)离子束源提出了三种线圈的设计方法,并对这三种线圈激发的电场进行了数值计算和比较.结果表明,直线段式不等距天线和并联多螺旋不等距天线线圈能够产生均匀性良好的电场,且其耦合效率高.

作者：苏志伟, 陈庆川, 韩大凯,

关键词：离子束源, 电感耦合等离子体, 天线,

天线工程师培训课程套装，让天线设计不再难

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