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集成电路中的天线效应

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集成电路中的天线效应

内容简介天线效应会在MOS集成电路制造中引起良率和可靠性的问题,当芯片尺寸在深亚微米以下的工艺中更容易产生.介绍了集成电路中天线效应产生的原理,以及在版图设计中为避免天线效应所常用的几种方法.

作者:刘义凯, 刘丽娜,

关键词:天线效应, 版图设计, 深亚微米,

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