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ICP源平面微带螺旋天线参数对性能的影响

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ICP源平面微带螺旋天线参数对性能的影响

内容简介：分析了平面电感耦合微波等离子体源(ICP)的基本理论,根据其等效电路设计了一个谐振频率在2.45 GHz的平面微带螺旋天线,通过建模进行仿真优化,并提出减小损耗的方法.研究发现,螺旋线圈的尺寸是影响谐振频率和Q值的关键因素.这为小功率电感耦合微波等离子体源的进一步研究提供了理论基础.

作者：周蓓, 廖斌, 朱守正,

关键词：电感耦合微波等离子体源(ICP), 平面微带螺旋天线, 数值仿真,

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