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基于MEMS工艺的新型THz喇叭天线的设计与仿真
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一种基于MEMS工艺的新型THz喇叭天线的设计与仿真
内容简介：提出了一种太赫兹(THz)天线结构:基于MEMS 工工艺的THz角锥喇叭天线.采用电磁场仿真软件Ansoft HFSS 11对所设计的天线进行仿真,结果表明该天线在2.5 THz ～3.5 THz范围以内具有回波损耗优于-25 dB,增益大于15 dB的良好特性.天线可以通过MEMS工艺(硅基KOH刻蚀)制造,具有加工费用低的优点,适用于THz雷达,通信和成像系统等太赫兹系统.
作者：郭林, 黄风义, 唐旭升,
关键词：太赫兹(THz)天线, 角锥喇叭天线, 微电子机械系统, 氢氧化钾刻蚀,
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