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PZT厚膜UCPBG结构的射频天线研究

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PZT厚膜UCPBG结构的射频天线研究

内容简介：采用了丝网印刷工艺在硅片上制备了锆钛酸铅(PZT)薄膜,进行了相应的工艺分析.设计并仿真了平面光子带隙(UCPBG)结构,测试了结构的电磁参数,证实了结构的可行性.在此基础上提出了一种基于PZT厚膜工艺和平面光子带隙结构的微型射频(RF)天线结构与工艺设计.

作者：林州, 任天令, 赵宏锦, 刘理天,

关键词：字:丝网印刷, 锆钛酸铅, 平面光子带隙, 射频天线,

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