天线效应的产生及修复

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天线效应的产生及修复

内容简介：随着现代半导体集成电路工艺的发展,栅的尺寸和氧化层的厚度越来越小,然而互连线的长度却有增加的趋势,这就造成了与之相关的天线效应越来越显著.本文介绍了天线效应的原理,以及修复方法.

作者：王文兵, 柯导明, 陈军宁, 孟坚,

关键词：天线效应, 跳层, 反偏二极管, 半导体集成电路, 天线修复,

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