近场天线和高速示波器探测ESD的测量能力分析

近场天线和高速示波器探测ESD的测量能力分析

内容简介：现有用来做ESD核查和评估的计量方法是测量静电场与/或电荷.这些参数并不能直接表征ESD事件,即对能导致器件失效的机器性能做出精确评估方面,它们无能为力.电场天线和Tektronix TDS754C500Mhz示波器装置,通过辐射的电磁干扰EMI(electromagnetic interference)来检测ESD事件.为了将此建成一种计量工具,电场天线/示波器装置是通过测量能力分析MCA(measurement capability analysis)的技术来表征的.一个Keytek 512激励源用来模拟带电器件模型CDM(charged device model)的ESD应力.一个球形栅阵BGA(ball grid array)芯座用作被测器件DUT(device under test).CDM激励电压设置在200、500和800V,而电场天线放在离DUT 6英寸和12英寸远的地方.利用近场天线/示波器装置,在ESD事件检测和如何定量方面,是一次突破.时至今日,在切筋模工序,此方法已被用来作为快速鉴别ESD事件来源的一种特殊工具了.

作者：石林初, 无锡华晶微电子股份有限公司,无锡,214061