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表面波等离子体天线的能量衰减系数研究
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表面波等离子体天线的能量衰减系数研究
内容简介：根据功率平衡原理,得到了表面波等离子体天线中等离子体柱长度、等离子体密度与馈入功率的关系,导出了表面波等离子体天线中能量衰减系数沿轴向分布.实验测得充气压强为0.5Pa,6Pa和40Pa时等离子体柱长度、馈入功率和等离子体密度,得到能量衰减系数的实验值.结果表明,等离子体柱上z点的能量衰减系数为该点到等离子体柱顶端距离的倒数,实验所测结果与理论符合得很好.该结论对研究表面波等离子体天线的激励和维持十分重要.
作者：位朝垒, 王世庆, 鄢泽林, 李建, 孙乃峰,
关键词：等离子体天线, 等离子体密度, 能量衰减系数, 表面波,
