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交叉型天线感应耦合等离子体源放电特性及均匀性
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交叉型天线感应耦合等离子体源放电特性及均匀性
内容简介：本文介绍了一种交叉型天线射频感应耦合等离子体源,射频天线穿过交叉排列的石英管内置于真空腔体中.本文运用朗谬尔探针方法诊断了放电等离子体的参量及其均匀性,运用发射光谱技术进行了Af谱线[4s'(1/2)0-4p'(1/2)]的发光强度的表征,并使用自制的Rogowski线圈测量了天线中的射频电流变化.结果表明,等离子体放电随着射频输入功率的增加存在着E模式向H模式的转变,H模式放电时发光强度及射频电流明显增大.电子温度随气压的增大而降低,几乎不受功率的影响.该等离子体源所产生的等离子体密度较高,等离子体均匀性在中心±60mm区域内优于90%.
作者：卢春山, 辛煜, 孙刚, 孙恺,
关键词：感应耦合等离子体, 天线, 朗谬尔探针, 发射光谱,
