深亚微米设计中天线效应的消除

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深亚微米设计中天线效应的消除

内容简介：分析了PAE效应(process antenna effect)的成因,并在此基础上提出了几种在深亚微米ASIC设计中消除PAE效应的方法.其方法应用于"龙芯-I CPU"的后端设计,保证了投片的一次成功.

作者：杨旭, 黄令仪, 叶青, 周玉梅,

关键词：PAE效应, 等离子, 栅氧化层, 可靠性,

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