ICP等离子体源天线设计

录入：edatop.com 点击：

ICP等离子体源天线设计

内容简介：感应耦合等离子体技术以其低气压下产生高密度等离子体的能力及良好的可扩展性成为微细加工中的重要的加工技术之一.本文提出了一种新型的三段式线圈的设计方法,对激发电场进行了数值计算.结果表明设计的天线能够在径向和方向角方向上产生均匀性良好的电场,耦合效率较高.

作者：吴振宇, 杨银堂, 汪家友,

关键词：感应耦合等离子体, 天线, 优化设计, 电场强度,

天线工程师培训课程套装，让天线设计不再难

上一篇：RFID射频天线设计
下一篇：一种波束可调的平面印刷八木天线