光纤频谱仪测试膜厚的新技术研究

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光纤频谱仪测试膜厚的新技术研究

内容简介：在"Y"型光纤一个端面上垂直放置涂有透明薄膜的玻璃片,入射光在薄膜层的上下表面处两次反射,由于光程差的存在,反射光会发生干涉.不需要测量干涉条纹,根据Fresnel反射定律,仅通过对反射光谱的分析计算,可以测出薄膜的厚度以及折射率.该方法测量精度高、速度快、对薄膜无破坏作用.膜厚测量范围为0.5至几十微米,测量误差小于7nm.

作者：孙艳, 孙锋, 杨玉孝, 谭玉山,

关键词：光纤, 干涉, 频谱, 光程差,

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