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新型毫米波LIGA MEMS传输线和滤波器
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新型毫米波LIGA MEMS传输线和滤波器
内容简介：本文介绍了一种应用微机械加工技术制作的新型微带传输线以及用它所实现的高性能滤波器.与传统微带传输线不同,该传输线采用LIGA工艺制作技术产生三维传输线结构.从而在数十μm宽度的带条上实现高度为10μm-1mm的金属结构,具有大的高宽比.这种高的金属带条传输线不仅满足滤波器电路对高耦合度的需要,而且比传统微带传输线能够承受更大射频电流使得高功率单片集成电路制造成为可能.在进行滤波器电路设计中,探讨以带条导体厚度变化作为一种新的变量,观察到降低奇模阻抗对偶模阻抗的影响,这一结果为制作某些奇偶模阻抗需要在更宽范围内变化的元件提供了新的方案.本文还给出了LIGA毫米波带通滤波器原理样机的工艺制作过程、仿真分析和性能测试结果.
作者：吴群, 付佳辉, 秦月梅, 林茂六, Jongchul Lee,
关键词：滤波器, 微机械加工, 微带传输线, 毫米波传输线
