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基于MEMS加工工艺的同轴腔体滤波器设计

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基于MEMS加工工艺的同轴腔体滤波器设计

内容简介：为了实现无线电通信系统小型化的需求,文章提出了一种基于MEMS加工工艺的六腔同轴腔体滤波器的设计方案.该设计使用ansoft HFSS完成滤波器模型建立,进一步利用ansoft designer与ansoft HFSS联合仿真,优化并实现滤波器模型设计.结合MEMS加工工艺的特点,尽量简化同轴腔体滤波器结构,并采用方同轴线实现输入输出端口设计.

作者：王研, 郭晨, 蒋延生, 张安学,

关键词：同轴腔体滤波器, MEMS加工工艺, 方同轴线, 联合仿真

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