Ka波段硅基MEMS滤波器

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Ka波段硅基MEMS滤波器

内容简介：滤波器是微波毫米波电路中的一个重要部件,本文介绍了采用基片集成波导技术和ICP深刻蚀微机械通孔阵列的硅基MEMS滤波器.设计制作了MEMS滤波器的核心部件谐振器,测试结果显示该谐振器无载Q值大于180,频率误差控制在2%以内.以此为基础采用理论计算与实验设计相结合的方法设计了一个Ka波段硅基MEMS滤波器.滤波器中心频率为30.3 GHz,插入损耗1.5 dB,相对带宽5%.芯片尺寸为10.0 mm×2.8 mm×0.4 mm.

作者：张勇, 郁元卫, 贾世星, 朱健, 陈辰,

关键词：MEMS滤波器, 耦合, 基片集成波导, Ka波段

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