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基于基片集成波导的硅微机械滤波器
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基于基片集成波导的硅微机械滤波器
内容简介： 基片集成波导(SIW)结构是在低损耗的基片上利用金属孔构成的波导结构,具有高品质因数、大功率特性和易于集成的优点,是最近微波电路研究的热点技术.滤波器是微波毫米波电路中最常用的器件,使用SIW可以实现高性能滤波器且保持体积小的优点.
作者：郁元卫, 贾世星, 朱健, 单片集成电路和模块国家级重点实验室,南京电子器件研究所,南京,210016
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