- 易迪拓培训,专注于微波、射频、天线设计工程师的培养
聚合物双环谐振滤波器的研究
录入：edatop.com 点击：
聚合物双环谐振滤波器的研究
内容简介：设计了一种基于多模干涉(MMI)耦合输入/输出结构的跑道型双微环串联谐振滤波器,并采用紫外光敏聚合物材料SU-8作波导芯层,聚合物CYTOP为下包层,在硅基底上完成了器件的制备.器件的波导端面尺寸为2 μm×1 μm,与设计值相符,扫描电镜显示所制备的器件波导侧壁陡直度较高.直波导传输损耗的测试结果表明,在1550 nm波长,直波导传输损耗约为2.0 dB/cm.测试并获得了多模干涉结构和器件的通光及输出光谱图.测试结果表明,MMI结构在较宽的波长范围内实现了接近50∶50的功分比,微环谐振滤波器的通光性能良好,实现了滤波功能,器件的自由光谱区FSR实际值约为0.94 nm,与设计参数值很接近.研究结果表明采用聚合物SU-8制备小波导尺寸微环谐振器的器件简便可行.
作者：孔光明, 鄂书林, 邓文渊, 郭洪波, 张大明, 陈长鸣,
关键词：集成光学, 微环谐振滤波器, 紫外光刻, SU-8
上一篇：超小绝缘硅微环陷波滤波器特性分析
下一篇：波导E面滤波器的宽带化设计
