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140GHz MEMS矩形波导滤波器
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140GHz MEMS矩形波导滤波器
内容简介：设计并实现了一种采用微机械制造(MEMS)技术加工的D波段矩形波导膜片滤波器.采用有限元仿真软件HFSS分析了滤波器内腔镀膜厚度、粗糙度以及感性膜片厚度对滤波器主要性能的影响.采用MEMS深刻蚀工艺(DRIE)成功加工出了滤波器主体结构.通过完成结构深刻蚀、金属电镀和键合等关键工艺,首次制造出了D波段MEMS波导滤波器.样品测试结果为插入损耗0.4～0.7 dB,中心频率(140±3)GHz,带外抑制为≥18 dB,样品主要技术指标与设计值符合.
作者：赵兴海, 单光存, 郑英彬, 杜亦佳, 陈颖慧, 鲍景富, 苏伟,
关键词：波导滤波器, 太赫兹, DRIE
