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微环谐振滤波器工艺制作过程的研究

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微环谐振滤波器工艺制作过程的研究

内容简介：介绍了采用单环微谐振器的光滤波器的基本原理,详细介绍了旋转抛涂法、真空蒸发法、光刻及反应离子刻蚀法等制备微环谐振器的工艺过程.波导包层材料采用甲基丙稀酸甲酯-甲基丙稀酸环氧丙酯共聚物,以双酚A环氧树脂为高折射率调节剂,采用二者在共聚物中的不同配比来调节芯层材料的折射率.最后给出了实验结果.

作者：徐元哲, 马春生, 闫欣, 张大明, 王菲,

关键词：微环谐振器, 聚合物材料, 光刻, 反应离子刻蚀

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