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共面波导结构MEMS滤波器的设计
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共面波导结构MEMS滤波器的设计
内容简介：设计了一种基于共面波导结构的MEMS带阻滤波器.利用计算机软件HFSS模拟出滤波器的带阻中心频率约为22 GHz、损耗19.86 dB、阻带宽度为5 GHz,而设计大小仅为1 000 (m(1 100 (m(400 (m.只需改变设计参数,即可获取其它频段的带阻滤波器.该滤波器具有阻带高、插入损耗低、尺寸微小、加工容易等特点.在微尺寸条件下分析了滤波器结构的热应力特性,利用大型有限元软件ANSYS模拟表明在-50～+80℃的温度范围内,结构不会产生变形,表明了器件有良好的可靠性.
作者：赵继德, 李应良, 马传龙,
关键词：电子技术, MEMS, 滤波器, 共面波导, 阻带
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