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SOI多环级联光学谐振腔滤波器
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SOI多环级联光学谐振腔滤波器
内容简介：利用MEMS工艺制备了基于SOl的小尺寸、高集成光波导多环级联谐振腔滤波器,理论分析了多环级联微环腔的光场传输特性与光谱响应特性,实验验证并得到了不同级联环数与谐振谱线滚降垂直度的关系.研究表明:当波导宽度为450 nm、半径为5μm时,单环、双环和十环滤波器响应谱线的-3 dB带宽分别为0.313,0.279,0 239 nm,相应结果与理论吻合,即随着级联环数的增多,谐振谱线顶端趋于平坦,滚降垂直度增高.设计制备了环形与跑道形两种级联谐振腔滤波器,研究了相应的透射谱特性.
作者：王晓倩, 马可贞, 赵宇, 冯薪霖, 薛晨阳, 张文栋, 闫树斌,
关键词：光波导, 多环级联, 滤波器, 滚降垂直度
