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基于MEMS共面波导腔的带阻滤波器的设计
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基于MEMS共面波导腔的带阻滤波器的设计
内容简介：应用计算机辅助设计了一种基于共面波导结构的MEMS带阻滤波器.研究了微尺度电磁学、力学、温度等效应.利用ANSOF的HFSS软件模拟分析了滤波器的损耗参数,并应用ANSYS软件分析复合结构的热应力分布,得出了阻带中心频率在18GHz的MEMS带阻滤波器件,提供了一些有意义的理论分析及应用.
作者：赵继德, 李应良, 马传龙,
关键词：射频微机电系统, 滤波器, 共面波导, 阻带, 微尺度效应
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