高分子波导布拉格光栅滤波器之研制

高分子波导布拉格光栅滤波器之研制

内容简介：本论文运用一种复制流程研制高分子波导布拉格光栅滤波器。高分子光栅结构是以全像干涉及微成形制程制作。高分子波导布拉格光栅滤波器经由二阶段铸模制程。首先,具光栅图案的主模仁成型于一负光阻;其次,藉由该负光阻模仁再将光栅图案转移到一个聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜模仁上;而后,再以聚二甲基硅氧烷(PDMS)模子把光栅图案,转移到经紫外线固化成型的环氧树脂上,进而完成组件的制造。初步实验结果证实,经由本论文的制程可得到高解析的光栅结构,而且在布拉格波长有-15.5 dB之传输降幅及6nm的3dB传输频宽。

作者：李昆益, 林晏瑞, 林坤成, 庄为群, 李伟裕,

关键词：高分子波导, 布拉格光栅滤波器, 全像干涉, 微成形制程, 光栅结构, 聚二甲基硅氧烷