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基于绝缘硅的微环谐振可调谐滤波器
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基于绝缘硅的微环谐振可调谐滤波器
内容简介：采用电子束光刻和感应耦合等离子刻蚀等工艺,研制了一种基于绝缘硅材料的的微环谐振可调谐滤波器.滤波器微环半径为5μm左右,波导截面尺寸为(350～500 nm)×220 nm不等.测试结果表明,波导宽度为450 nm时器件性能最为理想,其自由频谱宽度为16.8 nm,1.55μm波长附近的消光比为22.1 dB.通过对微环滤波器进行热光调制,在21.4℃～60℃温度范围内实现了4.8 nm波长范围的可调谐滤波特性,热光调谐效率达到0.12 nm/℃.研究了基于单环和双环的多通道上下载滤波器,实验结果表明多通道滤波器的信号传输存在串扰,主要是不同信道之间的串扰,尤其在信号上载时,会在相邻信道产生较大串扰.
作者：李帅, 吴远大, 尹小杰, 安俊明, 李建光, 王红杰, 胡雄伟,
关键词：绝缘硅, 微环谐振, 热光效应, 滤波器, 串扰
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