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超窄带梳状滤波器固体腔的厚度测量方法研究

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内容简介：运用法布里-珀罗(Fabry-Perot)千涉技术,将被测元件等效成测量系统的干涉腔,采用相邻干涉极值的判定依据,实现了对固体腔型超窄带梳状滤波器组成元件--未镀膜层固体腔(熔融石英)的高精度厚度测量.该光学测量系统结构简单、温度稳定性好、成本低,完全可以实现以往需采用光谱分析仪才能完成的超精细测量.

作者：邓春林, 周凤岐, 蔡伟, 张志利,

关键词：梳状滤波器, 光学测量, DWDM, F-P法珀干涉

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