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基于微细加工技术的微谐振腔型滤波器

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内容简介：本文设计了一种新工艺----利用硅微结构直接作为模具来制作微小固体染料激光器谐振腔型滤波器.首先通过组合刻蚀工艺制作硅模具,再利用硅模具复制微谐振腔.组合刻蚀工艺是采用硅深层反应离子刻蚀技术(deep-RIE)并结合硅各向异性腐蚀技术(EPW湿法腐蚀),由于EPW湿法腐蚀对<110>面和<111>面的腐蚀速率不同,可制造出具有光学镜面的侧壁面的硅模具.利用此模具可制成出正方形环型固态染料微小谐振腔.利用激光染料罗丹明6G掺杂的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA),在调Q Nd:YAG自倍频激光532nm泵浦下,得到590nm波长附近的激光输出.这种谐振腔可应用在染料激光器型滤波器中,本文对其原理、设计、制作工艺和性能都作了介绍.

作者：李以贵, 陈水良, 宋康,

关键词：微谐振腔, 微细加工技术, 硅模具, 滤波器

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