柔性铰链微位移机构在可调谐F-P滤波器中的应用研究

柔性铰链微位移机构在可调谐F-P滤波器中的应用研究

内容简介：分析了由于反射镜倾斜导致的可调谐F-P(Fabry-Perot)滤波器失谐.设计了一种柔性铰链式微位移机构,由压电陶瓷驱动,采用平行四连杆机构进行传动导向.采用该机构驱动F-P腔镜扫描克服了直接使用压电陶瓷带来的腔镜倾斜问题.该机构已应用于可调谐F-P滤波器中,输出信号多周期峰值幅度均匀,重复性好.

作者：王明明, 张连清, 李营, 张书练, 李湘培,

关键词：可调谐F-P滤波器, 柔性铰链, 微位移机构, 压电陶瓷致动器