MEMS滤波器耦合封装的研究

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MEMS滤波器耦合封装的研究

内容简介：利用光场的耦合理论讨论了影响中心轴平行的高斯光束耦合效率的因素;根据光线变换矩阵原理分别推导了多层介质膜作用于反射光线和透射光线的ABCD矩阵,以及MEMS滤波器作用于透射光线的ABCD矩阵;基于这些讨论,采用q参数变换法计算出高斯光束通过MEMS-FP腔后的场强分布是束腰分立的、位于入射高斯光束束腰左右的一系列高斯光束;如果选择腰斑半径合适的耦合准直器,那么分立的束腰位置对准直器和MEMS-FP出射光束的耦合几乎没有影响.

作者：殷学会, 李承芳, 吴晓平, 胡强高,

关键词：MEMS, 可调滤波器, 高斯光束, ABCD矩阵

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