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利用MEMS技术制作MMIC的三维电容电感和滤波器
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利用MEMS技术制作MMIC的三维电容电感和滤波器
内容简介： 随着信息时代的发展,对于无线通信设备中的一些外接的分立元件的微型化、低功耗及可携带性提出了更高的要求.现在通常采用单片微波集成电路(MMIC)技术来制作微波电路器件.
作者：张海涛, 齐臣杰, 刘理天, 清华大学微电子研究所
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