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大幅减小刻蚀误差影响的高温超导滤波器研制
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大幅减小刻蚀误差影响的高温超导滤波器研制
内容简介：研制了一种具有良好刻蚀容差性能的类发夹型高温超导滤波器,在同等刻蚀条件下,达得更高的性能指标.在给出计算与设计过程的基础上,对出现大幅度欠腐蚀50 μm的类发夹型滤波器进行实际测试,其中心频率只偏移约30 MHz,并对该结构与直线型结构的刻蚀容差性能进行深入的比较分析,对类发夹型谐振器,每欠腐蚀2 μm,谐振频率比正常腐蚀偏低1 MHz,约为直线型谐振器的1/4,实验测试结果与之较好吻合.该研究结果,大幅降低了滤波器制作对刻蚀技术精度的依赖性,具有广泛的应用前景.
作者：刘娟秀, 羊恺, 补世荣, 宁俊松, 张天良, 罗正祥,
关键词：高温超导, 滤波器, 谐振器, 刻蚀容差
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