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低烧ZnO-TiO2微波陶瓷介电特性及片式多层带通滤波器研究
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低烧ZnO-TiO2微波陶瓷介电特性及片式多层带通滤波器研究
内容简介：采用材料特性、器件设计及制备工艺相结合的三位一体研究模式,研究了低烧ZnO-TiO2微波陶瓷介电特性,利用高频结构仿真软件HFSS对低烧陶瓷带通滤波器微波特性进行建模,重点介绍材料介电特性对片式带通滤波器性能影响的优化仿真,采用LTCC制造工艺技术制备片式多层带通陶瓷滤波器.研究结果表明:ZnO-TiO2微波陶瓷在895～910℃烧结,陶瓷相ZnTiO3、TiO2稳定存在,具有较佳的微波介质特性,在900℃烧结3h,其介电性能:εr=27.05、Qf=19822GHz、(T)f=2ppm/℃,该材料与Ag电极能较好匹配.模拟仿真表明:低烧材料的相对介电常数偏差是器件设计制备中的关键要素,仿真优化结果与LTCC试验样品的测试结果吻合较好.制备出的片式多层带通滤波器适用于表面贴装技术.
作者：张启龙, 杨辉, 邹佳丽, 陆德龙,
关键词：低温共烧陶瓷, ZnTiO3, 滤波器, 片式多层结构
