问一个比较弱的问题
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如题:今天听了一个报告,听到老师报告中说什么pitch,node,和gate length.我只是知道他们都是表示工艺尺寸的参数,请问他们之间到底是什么具体关系吗。
pitch 是指两个方块的中心距离。例如两个bondpad的pitch size是100um
node 不知道
gate length是指mos管门极的poly的长度。
你听的报告应该是讲集成电路工艺发展的
原来以gate length,即MOS管沟道长度作为衡量工艺水平的标准,现在多以pitch,即半间距尺寸作为特征尺寸来反映工艺水平
node 是讲工艺节点,即0.6um,0.35um,0.25um,0.18um,013um,90nm,65nm,45nm等
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