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平板电极中用HFSS如何设置激励
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有个问题想请教一下,在真空腔体中有上下两个方形极板,上层板电压为100V,下层板为0V,电极接点在上电极板背面中心处,加载频率13.56MHz射频源。
我用HFSS做的,在设置激励的时候选的是上极板背面加电压,但是电场线的方向应该怎么设定啊?
我用HFSS做的,在设置激励的时候选的是上极板背面加电压,但是电场线的方向应该怎么设定啊?
申明:网友回复良莠不齐,仅供参考。如需专业解答,请学习易迪拓培训专家讲授的HFSS视频培训教程。
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