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请问feko如何仿真波导激励的谐振腔

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我想用feko仿真如下问题:有一个矩形谐振腔,在谐振腔的一个面上开一个矩形的缝隙。我想在缝隙上用波导激励(设置具体波导模用作激励),然后观察谐振腔内的场分布。
我现在是这么做的:
1.画出矩形谐振腔;
2.在矩形谐振腔的一个面上开一个矩形的孔;
3. 在小孔的位置上再画一个矩形面;
4. 把开孔谐振腔和矩形面union;
5. 在矩形面上面设置波导模式激励
仿真的时候feko报错,请问一下问题可能出在哪里?多谢

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